雙瓶特氣柜(Gas Cabinet)

名稱：雙瓶特氣柜

規格：雙工藝氣瓶，全自動

型號：HSPGC150206 

■ 特氣柜(ju)尺(chi)寸：W850寬×D500深(shen)×H1800高 

■ 外(wai)吹掃(sao)：PN2，1/4"MVCR接口(kou) 

■ 抽真空：GN2，1/4"MVCR接口 

■ ;氣動(dong)隔膜閥：CDA驅動(dong)，1/4"卡套(tao)接(jie)口 

■ VENT排空管：1/2MVCR接口(kou) 

■ 工藝(yi)氣體出口(kou)：2個(ge)，1/4"MVCR接口(kou) 

■ 盤面(mian)規格：1/4"盤面(mian)

■ ;標準配備：自動切(qie)換，防爆防腐柜體，防爆自鎖門，防爆玻璃觀察窗，泄漏報警，遠程切(qie)斷，欠壓報警，主材SS316L

■ 柜體換(huan)氣量:OD100mm排氣口，SiH4-1200次/小(xiao)時，其余(yu)300次/小(xiao)時 

■ 控制柜尺寸：W850寬×D230深×H320高 

■ 控制柜電源：220VAC，50HZ，200W，漏電保(bao)護(hu)

■ 操作(zuo)界面(mian)：7"彩(cai)色觸摸屏

■ 選配：工(gong)藝(yi)氣(qi)瓶重量(liang)監控(kong)器，工(gong)藝(yi)氣(qi)體超(chao)壓報警，盤面加熱及溫控(kong)裝置(zhi)，報警信號手機短信與(yu)電(dian)話通(tong)知 

適合規模：使用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等模塊化設配上，體驗于IC芯片半導體的原材料、光伏系統太陽光能干電池、生物技術國藥水利工程、微智能電子新的原材料等制造業。